羅茨真空機組是由羅茨真空機和前級泵串聯組成的真空機組。一般抽真空限可達到真空度2帕到0.02帕。啟動它的方法就是將機組連接到被抽容器上后，開啟羅茨真空機組冷卻水，開啟前級泵，然后緩慢打開主閥（一般就是羅茨真空機組的入口閥），這時羅茨泵開始跟轉，待容器真空抽到1000到500帕時（簡單的判斷方法：羅茨泵不再跟轉），開啟羅茨泵，直到你所需要的真空度。
　　羅茨真空機組開機前準備
　　檢查水沖泵(前級泵)水箱液位是否達到水箱的3/4以上，若不足則補足，檢查水箱內所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，羅茨真空機組增加水泵葉輪磨損、較大電機負荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。檢查中間泵及主泵泵體內的潤滑油油面高度，須達油窗的3/4以上，同時檢查潤滑油的顏色，羅茨真空機組出現乳白色或黑色雜質較多則通知機修更換潤滑油。
　　羅茨真空機組檢查中間泵及主泵循環冷卻水水路是否完好，打開循環冷卻水進出口閥門，檢查循環冷卻進出水是否正常，檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉，檢查真空泵機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。檢查真空泵機組電觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常(中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上，羅茨真空機組主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上)。待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空機組。
　　羅茨真空機組啟動
　　打開中間泵和主泵循環冷卻水進出口閥門，確保羅茨真空機組循環冷卻進出水正常，關閉水沖泵緩沖罐排污閥門，啟動水沖泵，待運行正常(電機及泵發出噪聲均衡)后，緩慢開啟前級水沖泵旁通管道上的閥門和進氣閥門，待系統壓力達到中間泵設定的允許進口壓力后，啟動中間泵，如果采用自動控制擋，則直接撥到自動控制擋，機組的啟動過程則實現自動化。
　　如手動控制，當中間羅茨真空機組泵出口壓力達到主泵允許進口壓力后，啟動主泵。
　　羅茨真空機組的排氣壓力
　　羅茨真空機組在工作時，會不斷將空氣排出泵體，以在吸氣口形成工作需求的真空度，也就是說排氣壓力也是影響水環羅茨真空機組運行效率的另一主要因素。
　　排氣壓力會對羅茨真空機組吸氣量和軸運轉功耗帶來巨大的影響。當它在運行時，如果其排氣壓力越大時，羅茨真空機組的吸氣量就會越小，相應軸運轉功耗就會越大。相反，當系統排氣壓力越小時，它的吸氣量就會越大，相應軸運轉功耗就會越小。

　　因此，在實際運行維護過程中，應該實時觀察羅茨真空機組系統的排氣壓力數據，當出現異常排氣壓力數據時，應該立即采取相應的措施對整個真空系統進行更新改造，使得真空系統排氣壓力長期維持在標準范圍值內，保證羅茨真空機組始終處于優工況條件下，有效提高整體運行機械效率.